Willkommen bei FLP Microfinishing GmbH - IHREM EXPERTEN FÜR FEINSCHLEIFEN, LÄPPEN UND POLIEREN

Willkommen bei FLP Microfinishing GmbH
IHREM EXPERTEN FÜR FEINSCHLEIFEN, LÄPPEN UND POLIEREN

Service-Hotline

+49 (0) 34956 / 397-0

Email-Support

info@flp-microfinishing.de

CMP Politur

Chemisch-mechanisches Polieren ist ein Polierverfahren in der optischen- und Halbleiterindustrie (Waferbearbeitung) um dünne Schichten gleichmäßig abzutragen. Das Grundprinzip funktioniert überwiegend bei kristallinen Materialien. Durch das Anlösen der Oberflächen, über die chemische Komponente der Slurry (Suspension), wird es möglich – diese zu glätten – oder über die mechanische Komponente (Abrasiv) abzutragen, ohne dabei neue Tiefenschädigungen zu erzeugen. CMP gehört zu den Schlüsseltechnologien, die die Realisierung von modernsten mikroelektronischen Bauteilen und mikro-elektro-mechanischen Systemen (MEMS) überhaupt erst ermöglichen.